臭氧(O3)水處理工藝類型很多，主要有以下幾種類型：①臭氧(O3)+生物活性炭法（O-B工藝），②臭氧(O3)+混凝法，③臭氧(O3)+活性炭吸附法，④臭氧(O3)+活性污泥法，⑤臭氧(O3)+膜處理法，⑥臭氧(O3)+超聲波法。
臭氧(O3)+生物活性炭法主要過程是：先往水中投加臭氧，其強(qiáng)氧化性使復(fù)雜有機(jī)物分子斷鏈成小分子，從而易于生物降解，同時(shí)提高了水中溶解氧濃度。然后再進(jìn)入生物活性炭裝置，易降解有機(jī)物被活性炭富集，經(jīng)
好氧微生物氧化分解為CO2和H2O等。該工藝的特點(diǎn)是臭氧預(yù)處理提高了廢水的可生化性，有機(jī)物的富集和富氧提高了生化反應(yīng)速度;活性炭上的有機(jī)物生物降解又可恢復(fù)活性炭吸附性能。
臭氧(O3)+混凝法基于臭氧(O3)對親水性物質(zhì)強(qiáng)烈的破壞力，當(dāng)親水性物質(zhì)轉(zhuǎn)變成疏水性時(shí)，混凝沉淀效果將大大改善。
臭氧(O3)+活性炭吸附法是指：由于活性炭微孔孔隙小，限制了對大分子物質(zhì)的吸附，臭氧(O3)可破壞物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，形成小分子，增大活性炭吸附容量。
臭氧(O3)+活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高廢水的可生化性。
臭氧(O3)+膜處理法，臭氧(O3)常用在超濾(UF)的后處理上。
臭氧(O3)+超聲波處理法，超聲功率的增大可增加反應(yīng)速度，臭氧(O3)通入量增大可加深生物反應(yīng)程度，提高復(fù)雜有機(jī)物去除率。
臭氧單元處理主要是催化氧化法，如堿催化氧化、光催化氧化和多相催化氧化等，具體處理方法有：①臭氧(O3)/H2O2，②臭氧(O3)/UV(紫外光)，③臭氧(O3)/固體催化劑(金屬及其氧化物，活性炭等)。從反應(yīng)機(jī)理看
：①屬于堿催化臭氧化，②屬于光催化臭氧化，③屬于多相催化臭氧化。
堿催化臭氧化反應(yīng)的途徑是：通過OH-催化，生成-OH自由基，再氧化分解有機(jī)物，-OH基產(chǎn)生過程如下：
O3+OH→O2+HO2，O3+O2→O3+O2，O3+H+→HO3→OH+O2
光催化氧化是以紫外線為能源，以臭氧為氧化劑，利用臭氧在紫外線照射下生成的活潑次生氧化劑來氧化有機(jī)物，Gary，-Peyton等認(rèn)為臭氧光解先產(chǎn)生H2O2，H2O2在紫外光的照射下又產(chǎn)生-OH基，進(jìn)入OH自由基循環(huán)
：O2-+O3→O3+O2，O3+H+→HO3→OH+O2
利用光催化臭氧化法處理難降解有機(jī)物廢水時(shí)，部分難降解有機(jī)物在紫外光照射下，提高了能級，處于激發(fā)狀態(tài)，與OH基發(fā)生羥基化反應(yīng)，生成易于生物降解的新物質(zhì)。
多相催化臭氧化是近幾年發(fā)展起來的新技術(shù)，其金屬催化的目的是促進(jìn)臭氧(O3)的分解，以產(chǎn)生活潑的-OH自由基強(qiáng)化其氧化作用，常用的催化劑有CuO、Fe2O3、NiO、TiO2、Mn等。
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